环境科学与资源利用论文_电子工业含磷酸废液资

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文章目录

1 含磷酸废液的产生

1.1 磷酸在面板行业的应用

1.2 磷酸在集成电路行业的应用

1.3 电子工业含磷酸废液的特点

2 含磷酸废液提纯技术

2.1 净化+蒸发浓缩技术

2.2 萃取提纯+蒸发浓缩技术

3 含磷酸废液制盐技术

3.1 制备磷酸钠盐或铵盐技术

3.2 制备磷酸钙盐技术

3.3 制备聚合磷酸铝技术

3.4 制备磷酸脲技术

3.5 制备三聚氰胺聚磷酸盐技术

4 结论

文章摘要:我国电子工业高速发展，作为其中关键化学品，电子级磷酸的需求增长显著。使用后，蚀刻等工序会产生较多的含磷酸废液。本文根据含磷酸废液的产生过程及特点，结合危险废物处理的行业经验，从提纯和制盐两大方向论述含磷酸废液的资源化处理技术，使危险废物处理企业在处理含磷酸废液时选择对自身最有利的资源化处理技术。

文章关键词:

论文作者:李洋卢正杰张奎

作者单位:上海天汉环境资源有限公司

论文分类号:X703

文章来源：《电子工业专用设备》网址: http://www.dzgyzysb.cn/qikandaodu/2022/0508/433.html