无线电电子学论文_电子级磷酸在电子工业中的应

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文章目录

1.电子级磷酸概述

(1)简介

(2)生产工艺路线

①高纯磷氧化法

②PH3方法

③POCl3水解法

④磷酸三酯水解法

A.技术门槛高

B.产品更新换代快

2.电子级磷酸在电子工业中的应用

(1)在IC制程中应用

(2)在TFT-LCD制程中的应用

3.电子级磷酸的发展现状及趋势

(1)电子级磷酸现状

(2)电子级磷酸发展前景

文章摘要:本文介绍了电子级磷酸的性质、主要应用领域、主流的四种生产工艺路线、质量标准。阐述了电子级磷酸行业具有的特点:技术门槛高、产品更新换代快、功能性强、附加值高、市场占有率较高。介绍了电子级磷酸在电子工业中两种最主要的应用场景,对电子级磷酸的发展现状及趋势作了简要分析,着重对我国电子级磷酸的发展前景做了展望。

文章关键词:

论文分类号:TN04;TQ126.35

文章来源：《电子工业专用设备》网址: http://www.dzgyzysb.cn/qikandaodu/2022/0210/426.html